
RS.Lab 系列壓電旋轉位移臺,光學傳感,兼容無磁高真空。 ·光柵尺閉環控制,360°連續旋轉 ·配備通光孔徑 ·1urad級別最小步伐 ·無磁超高真空等特殊版本可選
LSX.Lab 系列壓電垂直位移臺,光學傳感,兼容無磁高真空。 ·光柵尺閉環控制,5nm最小步伐(1nm可選) ·優于150nm重復定位精度 ·1000g級別重量負載 ·無磁超高真空等特殊版本可選
GS.Lab 系列產品,壓電搖擺位移臺,光學傳感,兼容無磁高真空 ·光柵尺閉環控制,1urad最小步伐 ·1000g級別重量負載 ·無磁超高真空等特殊版本可選
LSX.Lab 系列壓電水平位移臺,光學傳感,兼容無磁高真空。 ·光柵尺閉環控制,5nm最小步伐(1nm可選) ·優于150nm重復定位精度 ·1000g級別重量負載 ·無磁超高真空等特殊版本可選